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      型號:
      iH600愛德華干式泵維修

      描述:iH600愛德華干式泵維修
      iH1800 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
      A59040946
      技術數據
      峰值速度 1800 m3h-1
      1060 cfm

      • 廠商性質

        經銷商
      • 更新時間

        2025-06-09
      • 訪問量

        2092
      詳細介紹
      品牌Edwards/英國愛德華輸送介質其他
      泵軸位置其他葉輪數目其他
      應用領域醫療衛生,化工,生物產業,能源,電子/電池
      iH600愛德華干式泵維修
      iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
      A59020946
      技術數據
      峰值速度                 518 m3h-1
                                      305 cfm
                                      8635 l min-1
      極限真空                 2 x 10-3 mbar
                                      1.5 x 10-3 Torr
                                      0.2 Pa
      典型軸封氮流量                 4 slm
      進氣口連接                 ISO100
      出口連接                 NW40
      15 psi 壓降下典型冷卻水流量 240 l h-1
                                      4 l min-1
      重量                         415 kg
      極限功率輸入                3.1 kW
      電機額定功率            5.1 kW
      油容量                         1.43 l
       

      功能和優勢
      優化了設施消耗。
      無需預防性維護。
      懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
      在節省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
      耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
      較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
      整體式軸桿無需使用電機聯結器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積

      概述
      Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時大程度地減小占地面積、降低運行成本,實現了高的可靠性和性能。
       
      iH 系列為難以執行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
      應用
      負載鎖
      輸送
      計量
      平版印刷
      PVD 制程
      PVD 預清潔
      RTA
      剝離/灰化
      刻蝕
      植入源
      HDP CVD
      RTP
      SACVD
      MCVD
      PECVD
      LPCVD
      ALD

       東莞市鴻鑫真空設備有限公司專業維修愛德華iH系列,iXL系列等干泵
      iH600愛德華干式泵維修
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