描述：EH2600愛德華羅茨泵維修EH機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為0.01至10 mbar、需

要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可

靠。

應用

半導體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風洞
空間

EH2600愛德華羅茨泵維修

EH機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為0.01至10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。

應用

半導體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2激光

功能和優(yōu)勢
適用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr的壓力范圍下、需要超過3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的應用場合。

它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
EH泵具有高質(zhì)量的無油泵送機械裝置。這可提供：
1、安靜的無振動運行。
2、牢靠且防腐蝕。
3、*的軸封技術，處理艙中不會出現(xiàn)油污染
4、防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
5、經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到低。6、軸封的設計經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。7、動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是*技術設備的制造商所需要的。

EH2600愛德華羅茨泵維修